4月18日，由工业和信息化部、科技部、中国科学技术协会指导，中国电子学会和中国电子报社共同主办的2008中国电子技术年会在北京举行。中国电子学会理事长吴基传、工业和信息化部副部长娄勤俭出席了会议。本次大会的主题是“科学技术是第一生产力”。

　　图为：中国电子系统工程第二建设有限公司总经理侯忆。以下为其发言内容：

　　侯忆：各位老师、各位领导、各位嘉宾，下午好！

　　今天上午我们讲的是比较宏观的，今天下午我们讲比较微观一点的东西。中国电子是一个非常快速发展的历程，作为我们这个企业，为中国电子企业的发展，起到了保驾护航的关系，我们为中国电子企业创造了一个良好的环境。

　　伴随着中国半导体工业、中国显示器行业飞快地进步，我们公司也正好是伴随着这个行业在成长，因此通过对我们公司的一些项目简单地介绍，让这个技术性的发展，来对中国的洁净室和半导体行业起到作用，因为工作环境是相当高的。

　　在汇报之前我简单介绍一下我们的公司。今天在坐的可能都是做产品的企业，那么我稍微对我们公司做一个介绍。

　　我们公司是1953年成立，我们主要做工程，但是我们这个工程不一样，不是盖房子，是对我们中国的电子工业配套做计划经济的时候，有成长的作用。

　　那么，公司既有9000的认证，也有18000的认证。那么，在施工方面，我们有700多名专业工程师和4000多名技术と恕?/p>

　　具有工程总承包的丰富经验，强项是在洁净室。在洁净室来讲，国内的水平跟国外的水平没有什么太大的差别，那么我们已经走出了过门。那么，中国鲁班奖的获得，在洁净室方面一共是2个工程，都是我们公司做的。

　　那么，从能力上我们公司具有项目策划和自信的能力，项目各阶段设计能力，项目的控制能力、项目管理和监理能力、采购和材料管理能力、现场管理、全厂建设、工艺设计安装及配管、调试和测试的能力等等。

　　从范围来讲，有宽通空调系统、洁净装修、环氧涂装、自流平、PVC地板、驾空地板、大宗气体系统、特殊气体系统、化学品、纯水，这个我们达到了18.2兆的水平，这是世界的最高水平。还有废水和其他的一些。

　　那么，我们半导体工业，现代意义上的半导体工业，从1986年开始，我们国家第一个项目是无锡华晶微电子工程，这个工程一直到现在在不断地壮大。那么，它的意义是从86年开始，是解决了彩电关键器件的国产化。

　　这个是93年，是我们国家第一条日电电子工程生产线。月投片是8000片，那么，这两个工程是我们属于现代电子工厂建设的前期。我们把它作为一个高科技的工厂的前期。

　　从洁净室来说，它是一个比较全面的，因为时间的关系，我们不能做全面的介绍，只能从空调方面来做介绍。它对于我们国家来说，也是革命性的环境的解决方案。

　　这是我们典型的早期的方案，这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么，上下都是新风机，那么它的工作原理是在天花顶层有一个反复的高效作用器。这上面两个是循环空调机，也可以放在上面，也可以放在侧面。通过新风机组补充新风，通过循环风机把洁净室通过地面下来的回风，通过循环风机对于冷量和湿度的调节，然后送到静压箱进行混合，然后通过顶部循环到车间里面去。

这样，使我们整个的气体，跟我们大型的空调不一样。我们大型的空调可能只有几个功能，这里是所有的空气从顶层全部压下来。这是我们第一步实现的现代洁净室的原理，它达到了100级以上。

　　那么，100级是什么概念呢？举个例子，今天大家在做的环境，是我们看到的非常干净的环境，应该是多少级呢？是200万到300万级，就是每立方英尺大于5个颗粒，就是相当于3.05平方米，这么大的体积里面所拥有的超过0.5以上的微米是多少。那么，我们今天这个环境，我估计在200万到300万G。那么，这样的洁净室，达到的是100微米，就是不能超过100微米，得小于100微米。

　　我们的集成电路在封装之前，它的导线我们国家保守地说是0.08微米，也有说是0.07微米。所以，三个电路产生出来的全部是这个，所以环境对于成品是非常关键的。这是达到了100级的洁净室。

　　那么，到了90年代末期，比如说长虹等等的厂家，我们弄了一个909工程开始上马了。洁净室的建筑面积达到了1万3千平方米，净化面积是1G。那么刚才说的是100级，那么现在说的是1级。刚才我讲的0.5微米以上是100级，那么这里要求的是更高，是0.12微米。所以洁净室的技术进一步提高了。

　　那么，通过干盘管进行温度的交换，在两边从这里往上走。走到我们上面的静压箱，然后通过另外一个全新的设备，就是FFU，这是什么意思呢？就是高效空气过滤单元，通过它往下走。新风空调机在这里，我们要往上送，它从创新的角度核心上来说，就是用了FFU这个东西。

　　它从工作原理上，解决了我们前面一个原理。前面一个过程是什么呢？虽然是完全从顶上压下来，我们空气洁净决定空气的气流组成形式。就是从理论上，要严格地每一个空气都垂直下来，全部地压下来。这样的话，我们的空气会相当地干净。但是，事实上做起来会非常困难。

　　那么，困难作哪里？我们可以看到，它是通过外部的风机把它送上去，送进去以后在这里往下压。那么，这必然存在着一个阻力不平衡的问题，那么阻力大的地方风速就大，阻力小的地方风速就小，就不能严格地保证这个风体的垂直性。

　　那么，我们这里把整个的屋面，保证垂直的情况下，这样才能做到1级。1级是什么概念？就是1平方米只能是1微米，但是做可不能这样，因为你考虑不能按照60分考，你按照60分考，你就可能是58分。所以，你要按照70分、80分去考，所以1微米等于是没有做。

　　这个是天津的摩托罗拉的项目。

　　这是2004年做的工程，这也是到今天为止，我们国家达到的最高的0.1级的概念。所以，目前我们国家唯一的一个工厂达到0.1级的洁净室。说到这个级别，我想起一个笑话，不知道大家有没有看过电视上一个广告。就是建设药业说他的工厂达10万级，很多人说10万很大。但是，实际上10万很差，10万是很大。这个工厂达到了0.1级，它的洁净度实际上真正做到没有颗粒。没有颗粒这种电子技术应用在医药方面肯定是没有问题的。

　　那么，到了这个级别我们的净化是跟FFU的物质密度有关系，那么物质密度越大，气流就越多，但是带来的问题是对于整个空气循环的量非常大。那么，我们这边通道的要求就要很宽敞，那么空气的量越大，对于空气处理的量就越大。我们空气每发生一次循环，就有一个温升，温度就要提高，所以冷却。所以，它处理的量就大了，那么这边的阻力就加大了。

所以刚才前面这种方式，带来的一个问题就是，所有的空气全部要从这里翻过去。那么，整个把这里布满了，温度还处理不过来。

　　那么，这个是上海广电的洁净室，他的面积达到了5万平米。那么，它带来的问题，就是说这里有一个叫做RHU来解决问题。这个区域是我们车间，所以我们的洁净室的造价是非常昂贵的，这么大的房子里面真正用于生产的只有这么小的地方，上面的是级别高的地方有风机，级别低的地方也有风机。

　　那么下面的室外送风机净化了室内的空气，净化排气排出了室内的空气。通过RHU这个设备，把新风送上去。这个设备既对室内温度进行了控制，又增加了送风的动力，减少了刚才谈的所带来的一个阻力比例，把这个空气循环的速度加快了，速度见效了。也就是说，RHU选用的，使得照明系统降低了。

　　这是06年刚完成的一个项目，它的洁净区面积达到了12000平方米。我们平常看到的洁净室的面积是很小的，有几百平米就是好的。那么，这个方式跟刚才那个方式几乎是一样的，但是作为一个小小的区别，就是RHU的设备，不是座落在一个角落上，它是在整个的下加层都可以。那么，这是房间设置中的车间。对于车间的生产设备的限制变小了，下面的RHU的布置率可以不断地增加。所以，空气的温度和湿度的处理，就得到了一个提升。这就使得空气回来在这里处理，然后处理完了再回到洁净室。

　　那么，它解决了我们工厂经常发生的技术升级的问题，因为技术升级带来了设备的调整。设备的热量和湿度的数不是一个稳定的，随着它的变化可以通过RHU分解增加来解决。所以，这使一个工厂变得非常灵活可用。我们知道，洁净厂房的成本非常高，所以这样可以扩大利用率。

　　现在的洁净室的建设越来越大，这是一个四川的显示器公司的洁净室的建设，他们目前是中国最大的洁净室，面积达到了2万米。这个方式还是用了RHU的方式，他们对于洁净室的要求很高，他们的空气处理量相对比较少，他们也是有了FFU，就是单密度空气，通过FFU处理完，送到洁净室，洁净室再通过地板回到下加层，是这么一个循环过程。如果级别提高的话，那么这个可以更成熟。

　　那么，针对目前我们比较流行的节能减排的提倡，我们也做了一个洁净室的经验值比较。这个是我们国内最早的洁净室，它们的能耗，随着库存率的提高，这个是以平米的消耗能源的吨位数为基础。当我们目前采用了FFU的方式之后，我们可以看到基本上一半的洁净室达到了50%。

　　那么，现在我们国家的洁净室的一期的投入增大，大家后期的维护成本降低了。

　　那么，今天主要是通过洁净空调的三个方式，一个是我们反复通过高效过滤器过滤空气的方式，第二步是通过循环空气机循环空气的方式，第三种是通过FFU处理空气，通过这三种来讲述一下电子工业洁净厂房的建设。

　　那么，我们的电子信息领域，我们不光是有空调，还包括了其他的废水、内装的纬度结构这一块，还有封闭性、严谨性，还有控制性这方面都是多方面的机制。所以，时间的关系我没有办法给大家做一个完整地介绍，如果有不对的地方，希望大家批评、指教。谢谢！